الخط الخوائي مخصص لوضع طيف واسع من الطبقات (الحماية و الديكور و المعزز و الضوئية) بطرق مشتركة بشكل أوتوماتيكي.
من ضمن خصائص الخط الخوائي التكنولوجي ما يلي:
- وجود آلة التحضير المسبق لمصدر الأيون مما يسمح بتشكيل الطبقة ذو المواصفات الفيزيائية و الميكانيكية العالية؛
- الحماية من التعبئة المتتالية للمنتجات في الغرفة المفرغة من الهواء مما يؤدي إلى انخفاض كمية الشوائب و انخفاض إمكانية تكوين الطبقات الموحدة و زيادة إنتاجية المعدات؛
- إمكانية مراقبة سماكة الطبقة خلال الترسيب و إخراج الخصائص الطيفية على شاشة الكمبيوتر.
المواصفات الفنية لخط التفريغ الهوائي التكنولوجي:
1. عدد الغرف – 3-7 غرف.
2. قياسات الركائز:
العرض – حتى 3000 ملم
الطول – حتى 4000 ملم
3. عدد الصمامات المغناطيسية الإلكترونية – 2-7 صمام.
4. عدد مصادر الأيونات – 1-3 مصدر.
5. مدة الدورة – ابتداء من 60 ثانية.
6. قوة مصدر طاقة الصمامات المغناطيسية الإلكترونية – 10 – 70 كيلووات.
التسميات:
1. السخان
2, 3, 5, 7, 9 الغرف
4. مصدر الأيونات
6, 8 الصمامات المغناطيسية الإلكترونية
10. المنتج
11, 12 علب التغذية
13. علبة التحكم
14. نظام الدعم
15. نظام تفريغ الهواء عالي المستوى
16. علبة التحكم
17. المصراع
I – V. الغرف
