يسمح معدات للترسيب الخوائي لترسيب عدة طبقات ضوئية واسعة الاستخدام بشكل اوتوماتيكي: الطبقة المنيرة و الطبقة العاكسة و طبقة التداخل و طبقة الاستقطاب و الطبقة الناقلة للطاقة و طبقة الحماية و طبقة امتصاص الضوء و غيرها من الطبقات.
المواصفات الفنية:
1. قياسات الغرفة:
* القطر، ملم – 700-1500
* الارتفاع او الطول، ملم – 800-1500
* الغرف المفرغة من الهواء عمودية
2. عدا مواد الضخ الاعتيادية يمكن استخدام المضخات المبردة و المضخات التوربينية الجزيئية.
3. يمكن أن تكون المعدات التكنولوجية مزودة بالمحرك الدوار السفلي أو العلوي مع قبة قابلة للإزالة و الذي يعمل بالنظام الكواكبي.
4. المصادر التكنولوجية:
* المبخرات الإلكترونية الإشعاعية
* المصادر الأيونية للغاز
* مبخرات مقاومة مع موزع المادة المملوءة
* المصادر المغناطيسية الالكترونية
5. يمكن استخدام ضمن علب التغذية و التحكم للمعدات قطع الغيار من بريطانيا العظمى و ألمانيا و اليابان و الولايات المتحدة الأمريكية.
تؤمن معدات الترسيب الخوائي للطبقات الضوئية إجراء العمل التكنولوجي لشكل أوتوماتيكي مع إظهار جميع الخصائص على شاشة الكمبيوتر.
