معدات للترسيب الخوائي لترسيب الطبقات المعززة

يسمح الجمع في معدات للترسيب الخوائي لترسيب الطبقات المقوية بين المصادر التكنولوجية المختلفة من حيث البنية؛ المصادر المغناطيسية الالكترونية و المصادر الأيونية و المبخرات القوسية المفرغة من الهواء مع معدات التغذية و التحكم الحديثة و غيرها من المعدات و الأنظمة بإنشاء الطبقة المعززة ذات الخصائص العالية و التكرار من الدورة للدورة.

إرسال

المواصفات الفنية:

1. قياسات الغرفة:

* القطر، ملم – 500-2000

* الارتفاع او الطول، ملم – 500-2500

* الغرف المفرغة من الهواء عمودية أو أفقية

2. يمكن بناء نظام التفريغ من الهواء باستخدام العديد من مواد الضخ.

3. المصادر التكنولوجية:

* مبخر قوسي مفرغ من الهواء

* مصادر الأيونات

* أنظمة البخ المغناطيسية الالكترونية.

4. المزودات النابضة للطاقة.