تزود معدات لتشكيل الأفلام النوعية الخوائية بقطع الغيار الحديثة و مصادر تكنولوجية للبلازما من الأصناف المختلفة و هذا ما يجعل وضع الطبقات الخوائية بشكل مركزي و يسمح بتحسين الطبقات المفرغة من الهواء:

• عند التعدين الخوائي ل Al, Cr, Ni تنخفض المسامية و يزداد الالتصاق؛
• عند وضع الكبريتيد ZnS و الفلوريدات MgF₂  يزداد الالتصاق بشكل ملحوظ و تزداد كثافة الطبقة؛
• عند وضع الأكاسيد Al₂O₃ , TiO₂, Cr₂O₃, ZrO₂, V₂O₃  ينخفض الامتصاص و يزداد الالتصاق؛
• عند وضع الكبيريد و النتريدات و كاربونيتريدات TiN, TiCN, ZnN, CrN, AlCrN, AlTiN   يزداد الالتصاق و كثافة الطبقة.